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Non-intrusive mapping of subsurface defects in semiconductors

D. Guidotti, M. A. Taubenblatt, S. J. Batchelder, R. L. Kleinhenz and A. A. Dupnock
Applied Physics A Solids and Surfaces 55 (2) 139 (1992)
DOI: 10.1007/BF00334212
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