Issue
J. Phys. Radium
Volume 8, Number 12, décembre 1947
Page(s) 361 - 368
DOI https://doi.org/10.1051/jphysrad:01947008012036101
J. Phys. Radium 8, 361-368 (1947)
DOI: 10.1051/jphysrad:01947008012036101

Étude des couches minces et superficielles par les rayons X : utilisation des méthodes par réflexion

Ch. Legrand

Faculté des Sciences de Lyon, Laboratoire de Rayons X du Centre National de la Recherche Scientifique à Bellevue


Résumé
Après avoir rappelé diverses techniques fondées sur les travaux de Y. Cauchois, A. Guinier, J. C. M. Brentano, propres à fournir des diagrammes « en retour », on s'est proposé d'utiliser la méthode de Brentano en rayonnement monochromatique. L'application en a été faite aux couches cristallines minces déposées sur support amorphe. Le cas plus complexe de l'exploration des zones superficielles d'un échantillon d'épaisseur quelconque a été envisagé après avoir précisé la notion d' « épaisseur diffractante utile ». Deux exemples ont été fournis par une étude d'écrouissage superficiel d'aciers inoxydables et par la mise en évidence de différences d'orientation dans les régions voisines des deux faces d'une feuille d'aluminium dé 40 μ. d'épaisseur.

PACS
6110K - X-ray reflectometry (surfaces, interfaces, films).

Key words
Thin films -- Surface layers -- X ray analysis -- X-ray reflection