Numéro |
J. Phys. Radium
Volume 20, Numéro 5, mai 1959
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Page(s) | 561 - 568 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphysrad:01959002005056100 |
DOI: 10.1051/jphysrad:01959002005056100
Émission secondaire des isolants et des semi-conducteurs
Pierre Pinard1 et Michel Martineau21 Laboratoire, d'Optique Électronique, Faculté des Sciences de Lyon
2 Laboratoire de Physique de l'École Polytechnique
Abstract
The coefficient of secondary emission δ of insulators and semi-conductors varies, as for metals, with the energy of the incident electrons, the crystalline state of the sample, the work function, and the angle of incidence of the primary electrons. But the poor conductivity of these substances gives rise to the phenomenon of " surface charge " whose influence on δ is considerable. Other factors (temperature, impurities, duration of bombardement, etc...) can also cause the coefficient of secondary emission to vary because they have, in particular, an influence on the surface charge.
Résumé
Le coefficient d'émission secondaire δ des isolants et des semi-conducteurs varie, comme pour les métaux, en fonction de l'énergie des électrons incidents, de l'état cristallin de . l'échantillon, de son travail de sortie et de l'angle d'incidence des primaires. Mais la mauvaise conductibilité de ces substances fait apparaitre le phénomène de charge de surface dont l'influence sur δ est grande. D'autres facteurs (température, impuretés, temps de bombardement, etc...) peuvent aussi faire varier le coefficient d'émission secondaire parce qu'ils ont, en particulier, une influence sur la charge de surface.
7920H - Electron impact: secondary emission.
Key words
electron beams -- dielectric properties -- secondary electron emission -- semiconductors