Numéro
J. Phys. Radium
Volume 20, Numéro 5, mai 1959
Page(s) 561 - 568
DOI https://doi.org/10.1051/jphysrad:01959002005056100
J. Phys. Radium 20, 561-568 (1959)
DOI: 10.1051/jphysrad:01959002005056100

Émission secondaire des isolants et des semi-conducteurs

Pierre Pinard1 et Michel Martineau2

1  Laboratoire, d'Optique Électronique, Faculté des Sciences de Lyon
2  Laboratoire de Physique de l'École Polytechnique


Abstract
The coefficient of secondary emission δ of insulators and semi-conductors varies, as for metals, with the energy of the incident electrons, the crystalline state of the sample, the work function, and the angle of incidence of the primary electrons. But the poor conductivity of these substances gives rise to the phenomenon of " surface charge " whose influence on δ is considerable. Other factors (temperature, impurities, duration of bombardement, etc...) can also cause the coefficient of secondary emission to vary because they have, in particular, an influence on the surface charge.


Résumé
Le coefficient d'émission secondaire δ des isolants et des semi-conducteurs varie, comme pour les métaux, en fonction de l'énergie des électrons incidents, de l'état cristallin de . l'échantillon, de son travail de sortie et de l'angle d'incidence des primaires. Mais la mauvaise conductibilité de ces substances fait apparaitre le phénomène de charge de surface dont l'influence sur δ est grande. D'autres facteurs (température, impuretés, temps de bombardement, etc...) peuvent aussi faire varier le coefficient d'émission secondaire parce qu'ils ont, en particulier, une influence sur la charge de surface.

PACS
7920H - Electron impact: secondary emission.

Key words
electron beams -- dielectric properties -- secondary electron emission -- semiconductors